(57) Способ измерения перемещения объекта, включающий направление сформированного светового пучка на связанный с объектом отражающий элемент, выполненный таким образом, что его усредненный по площади отраженного луча коэффициент отражения изменяется в зависимости от координаты X в направлении перемещения объекта, регистрацию отраженного светового излучения, преобразование его в электрический сигнал и определение величины перемещения в соответствии с измеренными значениями указанного сигнала, отличающийся тем, что дополнительно между связанным с объектом отражающим элементом и источником-формирователем светового пучка помещают частично связанный с объектом прозрачный транспарант с нанесенной на него решеткой, состоящей из параллельных линий, перпендикулярных направлению перемещения объекта, отражающий элемент реализуют таким образом, что закон изменения его усредненного коэффициента отражения имеет монотонный характер, дополнительно на отражающий элемент наносится решетка, состоящая из параллельных линий, перпендикулярных направлению перемещения объекта, причем период линий d, составляющих решетку отражающего элемента, равен периоду линий на транспаранте, а толщина упомянутых линий сопоставима с расстоянием между ними, по электрическому сигналу определяют вид функции, характеризующей перемещение объекта, и, далее, в зависимости от вида данной функции - периодическая или непериодическая - для измерения перемещений применяют следующие выражения:
где А - для периодической функции с периодом колебаний Т в случае колебательного периодического движения объекта - амплитуда колебаний, определяется как произведение четверти периода d/4 линий решетки на уменьшенную на единицу сумму числа минимумов nmin и числа максимумов nmax на одном полупериоде электрического сигнала, равного полупериоду функции автокорреляции;
где А - для непериодической функции в случае поступательного движения объекта - величина перемещения объекта, определяется как произведение полупериода d/2 линий решетки на уменьшенную на единицу сумму числа минимумов nmin и числа максимумов nmax в электрическом сигнале, а направление перемещения определяется в зависимости от увеличения или уменьшения значений максимумов функции от начала к концу перемещения с учетом направления изменения коэффициента отражения.
|
