Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 12´2013

  

(11) 

019070 (13) B1       Разделы: A B C D E F G H    

(21) 

201100219

(22) 

2009.07.16

(51) 

C23C 16/509 (2006.01)
C23C 16/54
(2006.01)
C03C 17/00
(2006.01)

(31) 

08160508.1

(32) 

2008.07.16

(33) 

EP

(43) 

2011.08.30

(86) 

PCT/EP2009/059157

(87) 

WO 2010/007134 2010.01.21

(71) 

(73) АГК ГЛАСС ЮРОП (BE)

(72) 

Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф (BE), Мишель Эрик (FR)

(74) 

Квашнин В.П., Сапельников Д.А. (RU)

(54) 

СПОСОБ И УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК ОДНОВРЕМЕННО НА ОБЕ СТОРОНЫ ОСНОВЫ

(57) 1. Способ нанесения пленки одновременно на обе стороны неорганического субстрата, отличающийся тем, что он содержит следующие операции:

субстрат вводят в, или пропускают через реакционную камеру (106, 206), в которой помещают по меньшей мере два электрода (110, 210), на каждой стороне субстрата помещают по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) между по меньшей мере одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами (110, 210);

используют стабилизированный источник питания, который включает ВЧ-трансформатор, к зажимам вторичной обмотки которого присоединены по меньшей мере два электрода;

во вторичной цепи этого трансформатора генерируется стабилизированное высокочастотное напряжение для генерирования филаментной плазмы (12, 112, 212) на каждой стороне субстрата по меньшей мере между двумя электродами (110, 210);

для уменьшения сдвига фазы между напряжением и током, которые генерируется во вторичной цепи трансформатора, используют регулируемую катушку индуктивности (L), расположенную параллельно с собственной катушкой индуктивности цепи, содержащую по меньшей мере два электрода;

в реакционную камеру (106, 206) на каждой стороне субстрата вводят смесь (108, 208), которая при контакте с плазмой разлагается и генерирует продукты для нанесения в виде пленки на соответствующую сторону субстрата; регулируют напряжение и/или частоту, подаваемые цепью генератора и/или индуктивностью катушки индуктивности (L), для генерирования гармоник, увеличивающих промежуток времени, в течение которого между электродами протекает ток.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что состав смесей, вводимых в реакционную камеру (106, 206) на каждой стороне субстрата, идентичен.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что состав смесей, вводимых в реакционную камеру (106, 206) на каждой стороне субстрата, различен и генерируются продукты для нанесения в виде пленок различной природы на соответствующую сторону субстрата.

4. Способ по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что смеси, вводимые в реакционную камеру (106, 206) на каждой стороне субстрата, ограничивают в двух отдельных зонах механическими барьерами и/или устройствами всасывания и/или доставки.

5. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что активируют, в основном, гармоники третьего порядка и пятого порядка.

6. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что что он дополнительно включает следующую операцию: изменение положения и/или конфигурации по меньшей мере одного электрода (10, 110, 210).

7. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что он дополнительно включает следующую операцию: приведение атмосферы в камере (6, 106, 206) к заданному давлению.

8. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что используют открытую камеру (6, 106), содержащую зону ввода и зону вывода основы.

9. Способ по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что используют закрытую камеру (206).

10. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что используют субстрат (2), являющийся изолятором, который сам образует по меньшей мере один из диэлектрических барьеров (14, 114).

11. Способ по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что используют субстрат (2), являющийся проводником, который сам формирует один из электродов.

12. Установка для нанесения пленки одновременно на обе стороны субстрата (2), которая содержит камеру (106, 206), средства транспортировки и средства обеспечения введения субстрата в камеру, стабилизированный высокочастотный источник питания высокого напряжения, содержащий ВЧ-трансформатор, к клеммам вторичной обмотки которого присоединены по меньшей мере два электрода (110, 210), причем указанные электроды помещены на каждой стороне субстрата (2), по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) помещен по меньшей мере между одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами (110, 210); средства регулирования/контроля источника питания, помещенные перед ВЧ-трансформатором, средства (108, 208) для введения реакционноспособных веществ в камеру (106, 206) и средства для экстрагирования остаточных веществ, отличающаяся тем, что во вторичную цепь трансформатора параллельно с контуром, содержащим по меньшей мере два электрода, помещена регулируемая катушка индуктивности (L) для уменьшения сдвига фаз между напряжением, генерируемым между электродами (10, 110, 210), и полным током, поставляемым модулирующим источником высокого напряжения, а средства регулирования источника питания, помещенные на первичной стороне трансформатора, и/или средства регулирования катушки индуктивности (L) обеспечивают генерирование гармоник, увеличивающих промежуток времени, в течение которого ток проходит между электродами.

13. Установка для нанесения по п.12, отличающаяся тем, что камера (106) открыта с обоих ее концов.

14. Установка для нанесения по п.12, отличающаяся тем, что камера (206) закрыта с обоих ее концов.

15. Установка для нанесения по любому из пп.12 и 13, отличающаяся тем, что она включена в линию производства листового стекла, причем камера (106) помещена в печь для отжига стекла, а средства поддержки субстрата содержат по меньшей мере один ролик.

16. Установка для нанесения по любому из пп.12-14, отличающаяся тем, что она включена в линию отпуска стекла.

17. Установка для нанесения по любому из пп.12-14, отличающаяся тем, что она включена в линию нанесения, работающую при низком давлении.

18. Установка для нанесения по любому из пп.12-17, отличающаяся тем, что мощность установки составляет по меньшей мере 100 кВт.

19. Установка для нанесения по п.18, отличающаяся тем, что мощность установки составляет по меньшей мере 200 кВт.

20. Установка для нанесения по п.19, отличающаяся тем, что мощность установки составляет по меньшей мере 500 кВт.

21. Установка для нанесения по любому из пп.12-20, отличающаяся тем, что катушка индуктивности содержит

обмотку (22), состоящую из пучка проводящих элементов (30), изолированных друг от друга, которые намотаны вокруг сердечника (24);

стержень магнитного плунжера (26), помещенный внутри этого сердечника (24) и изолированный от этого сердечника (24);

установочное приспособление (28), присоединенное к стержню плунжера (26);

изолирующее соединение, присоединяющее стержень плунжера (26) к установочному приспособлению; и

систему управления, способную действовать на установочное приспособление так, чтобы регулировать положение магнитного стержня плунжера (26) относительно сердечника (24).


наверх