(21)	201201462 (13) A1	Разделы: A B C E F G H
(22)	2012.01.10
(51)	G01B 11/06 (2006.01) G01N 21/17 (2006.01) B82Y 35/00 (2011.01)
(86)	PCT/RU2012/000001
(87)	WO 2013/105870 2013.07.18
(71)	ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ВМК-ОПТОЭЛЕКТРОНИКА" (RU)
(72)	Лабусов Владимир Александрович, Семёнов Захар Владимирович, Эрг Геннадий Владимирович (RU)
(74)	Скорый В.В. (RU)
(54)	СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИН НАНОМЕТРОВЫХ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ, ПРОВОДИМОГО В ПРОЦЕССЕ ЕГО НАПЫЛЕНИЯ

(57) Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к установкам для напыления многослойных покрытий нанометровой толщины, используемых, например, в качестве спектральных фильтров для оптических приборов в приборостроении, и может быть использовано для напыления покрытий со строго заданной толщиной и полосой пропускания оптического спектра. Заявляется способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления, включающий измерение спектра пропускания нанесенного на контрольную подложку покрытия в широком спектральном диапазоне и вычисление толщины напыляемого слоя. Новым является то, что в качестве контрольной подложки используют подложку с предварительно нанесенным слоем достаточной толщины, чтобы в спектральной зависимости отражения и/или пропускания от подложки с предварительно нанесенным слоем появился хотя бы один локальный экстремум или хотя бы одна точка перегиба, при этом само измерение толщины слоя может быть проведено как в режиме измерения спектра отражения, так и в режиме измерения спектра пропускания.