Бюллетень ЕАПВ "Изобретения (евразийские заявки и евразийские патенты)"
Бюллетень 06´2017

  

(21) 

201790593 (13) A1       Разделы: A B C E F G H    

(22) 

2015.08.20

(51) 

H01L 21/324 (2006.01)
B23K 26/06
(2014.01)
H01L 21/02
(2006.01)
H01L 21/67
(2006.01)

(31) 

1458520

(32) 

2014.09.11

(33) 

FR

(86) 

PCT/FR2015/052238

(87) 

WO 2016/038269 2016.03.17

(71) 

СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)

(72) 

Канова Лоренцо, Мимун Эмманюэль, Дюбо Брис (FR)

(74) 

Медведев В.Н. (RU)

(54) 

СПОСОБ ОТЖИГА ПРИ ПОМОЩИ ЛАМП-ВСПЫШЕК

(57) Способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы: подложку (1) с предназначенным для отжига покрытием (2) перемещают под лампой-вспышкой (4), при этом сторона подложки (1), содержащая упомянутое покрытие (2), обращена к лампе-вспышке (4), предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой (4), через экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импульс, отличающийся тем, что расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.

Увеличить масштаб


наверх