Евразийский сервер публикаций
Евразийская заявка № 202293561
Библиографические данные | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
Реферат [ENG] | ||||||||||||||||||||||||||||||||
(57) Изобретение относится к области микро- и наноэлектроники, в частности к тонкоплёночному конденсатору. Островковый тонкоплёночный конденсатор состоит из верхней и нижней обкладок и диэлектрического слоя и содержит дополнительный проводящий слой, имеющий трёхмерную структуру в виде множества островков, причем высота островков составляет около 25 нм, расстояние между любыми двумя соседними островками составляет от 2,25 до 2,75 нм, диаметр островков составляет от 180 до 220 нм.
![]() Загрузка данных... ![]()
| ||||||||||||||||||||||||||||||||