Евразийский сервер публикаций

Евразийский патент № 044541

   Библиографические данные
(11)044541    (13) B1
(21)202192592

 A ]   B ]   C ]   D ]   E ]   F ]   G ]   H ] 

Текущий раздел: H     


Документ опубликован 2023.08.31
Текущий бюллетень: 2023-08  
Все публикации: 044541  
Реестр евразийского патента: 044541  

(22)2021.08.11
(51) H01L 21/306 (2006.01)
C09K 13/08 (2006.01)
C09K 13/06(2006.01)
(43)A1 2023.02.28 Бюллетень № 02  тит.лист, описание 
(45)B1 2023.08.31 Бюллетень № 08  тит.лист, описание 
(96)2021/EA/0051 (BY) 2021.08.11
(71)УЧРЕЖДЕНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ "БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАТИКИ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ" (BY)
(72)Табулина Людмила Васильевна, Русальская Тамара Георгиевна, Кашко Иван Анатольевич (BY)
(73)УЧРЕЖДЕНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ "БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАТИКИ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ" (BY)
(54)ПОЛИРУЮЩИЙ ИЗОТРОПНЫЙ ТРАВИТЕЛЬ КРЕМНИЯ
   Формула 
(57) Полирующий изотропный травитель кремния, включающий смесь концентрированных плавиковой (HF), азотной (HNO3) и уксусной кислот (CH3COOH), отличающийся тем, что с целью сохранения в течение длительного времени скорости травления, эксплуатационных свойств при хранении и класса полировки кремниевых пластин, он дополнительно содержит воду (H2O) и фторид аммония (NH4F) при объемном соотношении компонентов HF:HNO3:CH3COOH:H2O=1:(6-8):(1-2):(1-2) и 1,0-1,5 г NH4F в 100 мл травителя.