(57) Изобретение относится к технике диагностики плазмы и может быть использовано для оценки состояния плазмы в приборах, предназначенных для обработки объектов. Указанная задача достигается тем, что в способе диагностики плазмы выполняется регистрация зависимостей мгновенных напряжений на электродах разрядной системы генерации плазмы и зависимостей мгновенных токов, протекающих через электроды разрядной системы, затем вычисляют на их основе амплитудно-частотные и фазочастотные характеристики системы плазма-объект, мощности, выделяемые на плазме, далее согласно известным методам обработки вычисленных характеристик определяют динамику параметров плазмы. Сопоставительный анализ с известными способами показывает, что в заявленном изобретении отсутствие дополнительных электродов-зондов обеспечивает точность измерений, обработка измеряемых значений обеспечивает описание динамики состояния плазмы в реальном масштабе времени.